金属掩模板静电吸附系统

2025年，国内精密金属掩模板加工已突破G8.6代技术‌。8.6代线CMM对应的基板尺寸为2620×2290mm，大尺寸基板可通过一次蒸镀切割出更多大尺寸面板，显著降低单位产品的生产成本。金属掩模板作为半导体显示的核心模具，决定着OLED屏幕分辨率与良率。而出厂前的最后一道影像检测关，确认CMM/FMM的加工精度是否合格，对上下游企业显得尤其重要。 AL730207081精密金属掩模板静电吸附系统，由工作稳定的英国IONFIX发生器、7081静电发生棒、660静电刷组合而成。通过高压静电技术，可实现金属掩膜板和测试玻璃面的临时吸附，降低材料翘曲对测量精度的影响，避免因几微米的误差造成掩膜版报废。