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静电卡盘电源

静电卡盘电源
         TREK静电卡盘电源拥有卓越的性能及强大通用性,可用于多种特有的工具/工艺,而不需要为每种不同的工具/工艺选配一种新电源。并内置抓取晶片检测功能(临界值可通过程序设置):指明晶片抓取事件,由低压正弦波产生的电容性电流,在相位A及相位B输出上叠加合成,可被监测但是也可通过程序设置禁用。叠加波形用于指示无晶片,有晶片,或晶片夹紧状态。
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